多弧离子镀TiN薄膜性能

一、多弧离子镀的原理1.电弧离子镀的概念沉积TiN涂层时,工件放置在由旋转电机驱动的旋转夹具上;阴极电弧、发射出的Ti原子被真空室内的Ar+电离成Ti+,真空室内形成等离子体,Ti+与N-结合生成TiN,沉积在工件上成膜。2.多弧离子镀的物理化学过程阴极电弧蒸发源电离,即点燃真空电弧后,阴极靶材表面上出现一些不连续的、大小和形状多样的、明亮的斑点。它们在阴极表面迅速地做不规则的游动,一些斑点熄灭时又有些斑点在其他部位形成,维持电弧的燃烧。阴极斑点的电流密度达104~105A/cm2,并且以1000 m/s的速度发射金属蒸气,其中每发射10个电子就可发射1个金属原子,然后这些原子再被电离成能量很高的正离子(如Ti+),正离子在真空室内运行时与其他离子结合(如与N-形成TiN),沉积在工件表面形成涂层。二、Cr12钢的热处理方式1.预先热处理Cr12钢锻后退火工艺的主要目的是消除内应力,工件经加工后由于温度引起的组织变化使内部产生应力,不及时消除易引起变形甚至开裂,通过退火可 ...